液中パーティクルセンサ　KS-41A （フォトレジスト溶液対応）

  • 0.15μmの粒子を、フォトレジスト溶液やＳＯＧなどから測定可能。
  • 最小可測粒径0.15μm、定格流量10mL/min。
  • 粒径区分 (4段階、出荷時)。　0.15μm、0.2μm、0.3μm、0.5μm以上
  • 液漏れセンサ内蔵本体内で液漏れ発生時に警報を出力。
  • 粒径範囲内で任意に粒径を設定可能。 （KE-40B1の機能による)

価格（税別）

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