液中パーティクルセンサ KS-41B

フォトレジスト溶液やSOG中の粒子を0.1 μmから測定可能
(純水などの透明な液体の場合、0.07 μm対応可能)

仕様

光源 半導体励起固体レーザ
粒径設定範囲 0.1 μm~0.5 μm 以上
粒径区分 1段階から10段階で任意設定
定格試料流量 5 mL/min

価格(税別)

¥12,000,000