液中パーティクルセンサ KS-41A (フォトレジスト溶液対応)

  • 0.15μmの粒子を、フォトレジスト溶液やSOGなどから測定可能。
  • 最小可測粒径0.15μm、定格流量10mL/min。
  • 粒径区分 (4段階、出荷時)。 0.15μm、0.2μm、0.3μm、0.5μm以上
  • 液漏れセンサ内蔵本体内で液漏れ発生時に警報を出力。
  • 粒径範囲内で任意に粒径を設定可能。 (KE-40B1の機能による)

価格(税別)

¥4,800,000